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超低水氧控制： 水和氧的濃度嚴(yán)格控制在≤0.1ppm，為半導(dǎo)體材料提供極致純凈的加工環(huán)境，確保器件的高性能和穩(wěn)定性

箱體防爆設(shè)計(jì)： 采用304不銹鋼材質(zhì)，確保在處理易燃易爆物質(zhì)時(shí)的安全性，同時(shí)箱體結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，耐用性強(qiáng)

高效氣體凈化循環(huán)系統(tǒng)： 配備銅觸媒和分子篩，有效去除水和氧氣，循環(huán)能力達(dá)到90 m3/h，確保箱體內(nèi)環(huán)境的持續(xù)穩(wěn)定

智能控制系統(tǒng)： 采用PLC觸摸屏控制，實(shí)現(xiàn)自診斷、斷電自啟動(dòng)、壓力控制和自適應(yīng)功能，操作簡便，提高工作效率

高標(biāo)準(zhǔn)泄漏率： 箱體泄漏率小于0.001vol%/h，遠(yuǎn)低于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，確保箱體內(nèi)的環(huán)境不受外界影響

多功能過渡艙： 設(shè)有大過渡艙和小過渡艙，方便物品的進(jìn)出，同時(shí)保持箱體內(nèi)的環(huán)境穩(wěn)定